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光谱仪的透射率或其效率可以通过协助单色仪设备来测量。在可见和近紫外线下实现这些测量并不困难。通过测量第一个单色仪的光通量,然后通过两个单色仪的光通量来测量第二个单色仪的透射率。

绝对测量需要知道单色仪器的绝对透射率:对于相对测量,透射率可以通过各种波长的相对单位进行测量。这些真空紫外线的测量非常困难,因此通常使用辅助单色仪器。衍射光栅的效率在各种入射角的情况下进行测量。在许多实验步骤中,校正的困难已经成功避免。
我们研究了光栅效率与波长、入射角、涂层厚度、涂层材料和其他因素之间的关系。所有这些测量都指出,在许多情况下,能量损失非常重要,光栅的效率低于1%。光栅的不同部分可能有明显不同的效率。